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半導體行業中的Sorters是之類?
2026-03-20 15:33

Sorters(分選機)是半導體芯片制做過程中中必值得尊重的至關重要裝備,一般使用于晶圓的貨物搬運、分選和管控,為了保證出產操作流程的高效能與反復性。以內是解釋Sorters的簡略解釋:

1. Sorters的定義與功能
Sorters是一種自動化設備,用于對晶圓進行分類和篩選。它們能夠根據晶圓的參數(如大小、電性能、光學性能等)進行分選,并確保每個晶圓的品質符合生產要求。Sorters的主要功能包括:
- 晶圓的上下線、制程前分批、制程后合并、制程間倒片。
- 產品出廠校驗、排序、料盒交換等。


2. Sorters的重點元器件

Sorters由多個關鍵部件組成,包括:
Load port(接口模塊):用于晶圓的進出,可與晶圓廠的物料傳輸系統集成。
機械臂(Robot):用于抓取和搬運晶圓,確保晶圓在設備內部的精確移動。
晶圓抓手(End effector):通過真空或夾持方式固定晶圓,保證晶圓在移動中的穩定性。
預對準器(Aligner):使用LED照明和圖像識別傳感器,精確檢測晶圓邊緣和Notch槽位置。
控制系統:協調和控制各個部件的運行,實現晶圓的自動分選和分類。

3. Sorters的應用
Sorters廣泛應用于半導體制造的多個環節,包括:
晶圓制造前的準備階段:負責晶圓的裝載和卸載。
光刻、刻蝕和離子注入過程:確保晶圓在不同加工站之間的精確傳輸。
清洗和檢測過程:提高清洗效率和檢測精度。
封裝和后道處理:將晶圓轉移到封裝設備中,進行最終的質量控制。

4. Sorters的重要性
Sorters在半導體制造中扮演著重要角色:
提高效率:通過自動化操作,減少人工干預,提高生產效率。
保證質量:確保晶圓在潔凈室環境中的清潔度和精確性。
優化流程:通過與生產線其他設備的集成,實現數據共享和流程優化。

盡管,Sorters是半導產生中不要或缺的設施設備,二者根據重新化和智力化的凈化處理方法,有效確保了晶圓的效率高分選和經營,為半導產業的高品質管理量生產加工具備了首要后勤保障。

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