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SKD2000 全會自動晶圓電極臺 采用：6inch、8inch,LSI(大占比結合電線板)和VLSI(超大型占比結合電線板)等晶圓測試。
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適用范圍：

支持于6inch、8inch,LSI(大投資額ibms電源線路)和VLSI(超小投資額ibms電源線路)等晶圓軟件測試。

 

主要參數樣式：

號碼 項目 網站內容 注
1 晶圓尺碼的規格 晶圓半徑 6/8寸  
2 晶圓體積尺寸 150~1000μm  
3 的厚度較差 ≤+50μm  
4 Die厚度 0.25~100mm  
5 Index Time 反復時間段 230ms(Die≤5mm)  
6 X/Y軸 的精密度 ≤+2μm  
7 最大化車速 250mm/s  
8 觀測旅行線路 ≥±120mm  
9 辨別率 0.1μm  
10 Z軸 精確 ≤+2μm  
11 明顯的速度 50mm/s  
12 往返 ≥47mm  
13 辨認率 0.1μm  
14 θ 可設定時間范圍 ±5°  
15 分辯率 0.00007°  
16 廠務必須 電壓值 AC 220V 50/60Hz  
17 CDA 0.6~0.8MPa 管道直徑ф8  
18 真自然空氣源 -80~-100KPa 外徑ф6  
19 該機 規格尺寸(L*W*H) 1370*1475*1300mm  
20 含水量 1500Kg  
21 大工作電流公測 電流大小范疇 0~800A 標準配置
22 高壓力測試圖片 電阻空間 0~3000V 加裝
23 不同溫測式 熱度時間范圍 -60~200℃ 配搭
24 控溫的精密度 ±0.1℃
25 氣溫平穩性 0.1℃
26 室溫平均性

≤100℃時≤+0.5℃

>100℃時<±0.5%
     
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