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全自動晶圓檢測器臺SKD3000 全會自動晶圓自測測試探針臺SKD3000是是一款用作8/12inch LSI（大投資額結合型電線）和VLSI（太大投資額結合型電線）晶圓自測的自測測試探針臺。
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成品描訴

慨述：

全自動設備式晶圓檢測器臺SKD3000是五款應用在8/12inch LSI（大建設人數融合電線）和VLSI（超小建設人數融合電線）晶圓測驗的檢測器臺。

 

優勢優點：

1、高精確度探頭臺測式方的X/Y軸的非常定位功能精確度能達到±2μm；

2、高鋼度Z/θ軸能實現了Chuck長時穩定可靠軟件測試；

3、展示電腦自功上料機基本功用，具備檢測器與Pad電腦自功對位基本功用。分為獨立空間的光學反應系統的使檢測器卡上大部分的針尖是可以電腦自功準確地扎在相對應的Pad上；

4、專用設備性能指標和正常運行模式數據講解信息等數據講解會什么是自由上傳或發送到磁盤和表面折算機整體，方便快捷及時查到和追溯到講解。

 

參數設置規格尺寸：

順序號 工程 相關內容 備注
1 機臺寸尺及克重 寸尺（L*W*H） 1590*1620*1460mm  
2 含量 約2.2T  
3 晶圓長寬比外形尺寸 晶圓外徑 8"/12"  
4 晶圓機的薄厚 150~2200μm  
5 高度差別 ≤±50μm  
6 Die盡寸 0.2~100mm  
7 測試圖片目標方向 測試圖片步驟 X/Y走向不斷檢測  
8

θ

 可調接空間 ±5°  
9 區分率 0.00007°  
10 X/Y軸 gps精度 ≤±2μm  
11 極大車速 250mm/s  
12 測探過程 ≥±160mm  
13 甄別率 0.1μm  
14 Z軸 控制精度 ≤±2μm  
15 最大的訪問速度 50mm/s  
16 行程英文 ≥80mm  
17 辯認率 0.1μm  
18 OD范疇 0~500μm  
19 Index Time 反復期限 230ms（6mm以內的Die Z啟閉0.5mm）  
20 預對著 脫貧度 的角度≤±0.5°，學校選址≤0.2mm  
21 觸屏屏 品種 15Inch五線內阻式  
22 大瞬時電流測驗 瞬時電流面積 0~800A 加配
23 高壓力考試 電壓值超范圍 0~3000V 配搭
24 好壞溫測試軟件 高溫規模 -60~200℃ 配置
25 控溫表面粗糙度 ±0.1℃
26 高溫安全性 0.1℃
27 室內溫度均衡性 ≤100°C時≤+0.5°C
＞100°C時＜+0.5%
 
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